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物理光电教学仪器
lcl-13   薄膜测厚仪
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产品详情




仪器简介:

   lcl-13型薄膜测厚仪根据多次反射光谱相干原理,本仪器可提供非接触测量薄膜厚度,折射率,吸收系数等;采用最新软件版本,具有纳米级精确测量和方便使用等优点;测量方便度和准确度远好于常用光学椭偏仪。是薄膜研究,光学镀膜,和半导体生产不可缺少的测量研究仪器。



实验内容:

1学会薄膜和涂层的厚度测量及折射率和吸收系数的测定


     

主要配置和参数:

序号

名称

规格和参数

1

厚度范围

20nm-50um(只测膜厚),100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k)根据薄膜材料的种类,其范围有所不同

2

准确度

<1nm或<0.5%

3

重复性

0.1nm

4

波长范围

380nm-1000nm

5

可测层数

1-4

6

样品尺寸

样品镀膜区直径>1.2mm

7

测量速度

5s-60s

8

光斑直径

1.2mm-10mm可调

9

样品台

290mm*160mm

10

光源

长寿命溴钨灯(2000h)

11

光纤

纯石英宽光谱光纤

12

探测器

进口光纤光谱仪

13

电源

ac100v-240v,50hz-60hz

14

重量

18kg

15

尺寸

300mm*300mm*350mm










022-8898 7068      185 2207 3928
工作时间:08: 30~12 :00   13 : 00~17 :30
地址:天津市津南咸水沽海河创意中心7号楼3层
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